超精密零件加工是指尺寸精度达到0.1 微米（100 纳米）以下、表面粗糙度Ra 小于 0.01 微米的制造技术，是现代高端制造业的核心基础 。下面，小编给大家介绍一下
超精密零件加工的主要工艺类别：
1. 超精密车削
单晶金刚石刀具车床（单点金刚石车削 SPDT），适合铝、铜、镍、塑料；
可直接加工光学镜面、反光模具、滚筒端面；Ra 可达 0.002~0.01μm。
钢材、硬料不适合金刚石车，容易崩刀。
2. 超精密磨削
外圆磨、内圆磨、平面磨、成型磨；砂轮为 CBN / 金刚石砂轮；
用于淬火钢、硬质合金、陶瓷；轴类、套筒、精密辊筒常用；
圆跳动、圆柱度可以做到 0.1~1μm，Ra 0.01~0.05μm。
3. 超精密研磨 / 抛光
研磨、珩磨、化学机械抛光 CMP；
适合小孔、平面、球面；尺寸稳定，消除磨削纹路、残余应力；
半导体、精密阀件、光学镜片。
4. 超精密铣削（纳米铣）
高速高精加工中心，主轴数万转；多用于微小型腔、精密模具。
5. 特种工艺辅助
电火花 EDM、线切割 WEDM（慢走丝），适合硬质材料微小尖角、窄缝；
但 EDM 有重铸层，超精密件必须后续研磨去除重铸层，否则容易疲劳开裂。
